講了那么久空氣過濾器都有點膩了，那么今天來給大家講講前面主要講的“高效過濾器(HEPA)”主要應用的“無塵車間”。

無塵車間的主要作用為控制產品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產品能在一個環境良好的空間中制造、生產，這種空間稱之為無塵車間。



按照國際慣例根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定無塵凈化級別，那么也就是說所謂的無塵并不是說一點灰塵都沒有，而是把空氣中的粒子控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中的顆粒不是我們常見灰塵，已經是相對于前者小的微乎其微顆粒。

但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生相當大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵車間級別會要求的非常高。 　

控制每立方米粒徑小于0.3微米的微塵數量在3500個以內的無塵空間，就達到了國際無塵標準的A級。而應用在芯片級生產加工的無塵車間的無塵標準要高于A級。

無塵車間將5μm及以下的微塵數量嚴格控制在每立方米1000個以內就是業內俗稱的1K級別，一些等級較高芯片生產主要應用這樣的高標車間。